保護膜在晶圓中的應用
發(fā)布時間:2017-06-28
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半導體被稱為國家的“產(chǎn)業(yè)大米”,是所有電子產(chǎn)品生產(chǎn)都不可缺少的原材料之一,不論是民用的電子產(chǎn)品還是高精尖的軍用武器,其性能完全依賴于半導體產(chǎn)品的質(zhì)量。目前市場產(chǎn)業(yè)鏈為IC設計(芯片設計)、IC制造(前道工序的晶圓加工)和IC封測(后道工序封裝和測試)。而晶圓作為半導體行業(yè)的最重要的一環(huán),更是國家大力扶持的項目之一。接下來為您介紹晶圓制程中保護膜的應用。
根據(jù)晶圓尺寸要求或散熱要求,有時需將晶圓背面研磨減薄至可接受的厚度,因此研磨制程也可稱為“背研”或“減薄”,而研磨過程中需保證碎屑和研磨液不對晶圓造成污染,因此研磨前需在晶圓正面即線路面貼附保護膜(BG Tape)。
晶圓中錫球的高度越高,研磨時越容易分散以導致晶圓破損或產(chǎn)生波紋,因此需賦予保護膜較好的應力緩和性及延伸性,因此對于高錫球和超薄晶圓的研磨,PO基材的保護膜更為適用。
晶圓用保護膜一般有普通藍膜和UV固化減粘膜。UV膜的優(yōu)勢在于研磨后照射UV光使其粘性降低,可在低應力情況下進行剝離作業(yè)。高清潔性可保證研磨過程中微觀粒子的轉(zhuǎn)移非常少,研磨過程后不需要額外的清洗過程。
二. 切割(Dicing)用保護膜
晶圓切割(即劃片)將晶圓上的每一顆晶粒(Die)加以切割分離,先要將晶圓(Wafer)的背面貼上一層保護膜(Wafer Mount),之后再將其送至晶圓切割機加以切割。切割完后,一顆顆的晶粒會井然有序的排列黏貼在膠帶上,同時由于框架的支撐可避免晶粒因膠帶皺褶而產(chǎn)生碰撞。
與研磨用保護膜類似,切割用保護膜也分為非UV的藍膜及UV減粘膜,藍膜成本較低,且適用于大芯片和較厚類型的晶圓;UV膜成本較高但效率較高,尤其適用于小尺寸和超薄類型的晶圓。
針對晶圓工藝,UV保護膜需滿足如下要求:
1.膠帶具強力的黏著力以固定晶圓,即使是小芯片也不會發(fā)生位移或剝除的問題。
2.用紫外線照射降低黏著力,即使是大芯片也能輕松地正確撿拾起芯片。
3.確保膠黏劑不對IC產(chǎn)生污染